Mikro XRF, En Küçük Özellikleri Ölçebiliyor
Bowman, PCB, yarı iletken ve mikro elektronik endüstrilerinde kullanılan hassas XRF aletleri grubuna önemli bir ekleme yaptı.
Bowman A Serisi Micro XRF, yarı iletkenler ve mikro elektronikteki en küçük özellikleri hızla ölçebiliyor. Bu, tam örnek kapsamı ve çok noktalı programlanabilir otomasyon için çok büyük
PCB panellerini ve her boyutta yonga plakasını (wafer)kapsamaktadır.
[caption id="attachment_141735" align="aligncenter" width="439"]
Otomatik Yonga Plakası İşleyici ile Birleştirme için A Serisinin grafiksel canlandırılması[/caption]
Poli-kapiler optikler, X ışınını, XRF kaplama kalınlığı analizi için dünyanın en küçüğü olan 7.5 µm FWHM 'ye odaklar. 140X büyütmeli bir kamera, özellikleri bu ölçekte ölçer; ikincil, düşük büyütmeli bir kamera, örneklerin canlı görüntülenmesini ve "kuş bakışı" makro görünümde görüntüleme sağlar. Bowman'ın tescilli çift kamera sistemi, operatörlerin tüm parçayı görmelerine, yüksek-büyütücü (high-mag) kamerayla yakınlaştırmak için resme tıklamalarına ve ilgilenilen özelliği hızla belirlemelerine olanak tanır.
Her yönde 23,6 inç (600 mm) hareket ile programlanabilir bir X-Y tablası, sektördeki en büyük örnekleri işleyebilir. Sahne, her eksen için +/- 1 µm'ye kadar hassasiyete sahiptir ve birden fazla noktayı seçmek ve ölçmek için kullanılır; Bowman desen tanıma yazılımı ve otomatik odaklama özellikleri de bunu otomatik olarak yapar. Sistemin 3D haritalama özelliği, ENIG, ENEPIG, EPIG ve diğer elit süreçlerin topografyasını görüntülemek için kullanılabilir.
A Serisi enstrümanlar, molibden anot tüplü (krom ve tungsten de mevcuttur) 7,5 µm optik ve saniyede 2 milyondan fazla sayım işleyen yüksek çözünürlüklü, geniş pencereli Silikon Kayma Dedektörü (SDD) içerir. SDD'ler, karmaşık ince filmler için endüstri çapında standarttır. Yüksek sayım oranı yeteneği, düşük bir minimum algılama limiti (MDL) ve en yüksek spektral çözünürlük elde etmenin anahtarıdır.
A Serisi sistemler, temiz odaya hazır olmaları, piyasadaki en büyük yarı iletken sahne hareketine sahip olmaları ve her masaüstü XRF gereksinimi için aynı gün yanıt sağlayan bir hizmet ağı tarafından dünya çapında desteklenmesiyle ayırt edilir. Bowman enstrümanlarının ve diğer büyük XRF markalarının kullanıcıları için ekipman değerlendirmesi, seçimi, devreye alınması, bakımı ve modernizasyonu mevcuttur.
KAYNAK
